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2005年1月
■射频功率发生器 R 系列 13.56/27.12/40.68/60.00MHz
R系列已配置一个射射频功率发生器单元, 手动阻抗匹配箱和连接支架配件。
射频功率发生器是由射频发生器和功率放大器而构成的。
阻抗匹配盒是一种阻抗调节设备, 可以有效地将射频功率输出添加到负载。
它由另一种情况组成, 分别提高了屏蔽性。可以更换单元并轻松更改匹配区域。
频率为13.56MHz, 27.12MHz, 40.68MHz和60.00MHz 4种。

■特性
晶体管功率发生器
13.56MHz/27.12MHz/40.68MHz/60.00MHz
40W/80W
连续波(CW)输出
可以与手动阻抗匹配箱结合使用
功率计(模拟)
高稳定度(晶体振荡器)
小型
♦连接时 ♦分割时 ♦连接时(背部)

□射频功率发生器规格
型号 T161-46☆☆R T161-46☆☆R-80
输出功率 40W 80W
频率 13.56MHz/27.12MHz/40.68MHz/60.00MHz (任何一个)
频率稳定度 小于 ±0.1%
振荡方式 晶体振荡
输出功率稳定度 小于 ±1%
输出阻抗 50Ω
模拟功率计 渐进波/反射波100W 满量程 (切换)
保护电路 反射保护, 温度异常
输出接口 BNC-FEMALE
电源 AC85 - 230V 1φ 50Hz/60Hz 100VA
冷却 强制通风冷却
尺寸 W100xH130xD325(mm)
重量 (kg) 2.8kg (不包括连接支架)
☆☆ 根据输出频率的下一个频率编号 ↓

频率 频率编号
13.56MHz 13
27.12MHz 27
40.68MHz 40
60.00MHz 60

□阻抗匹配箱规格示例
型号 T029-4613R T029-4627R T029-4640R T029-4660R
频率 13.56MHz 27.12MHz 40.68MHz 60.00MHz
匹配电路 反L型
匹配 (Cp) 最大 800p 最大 400p 最大 400p 最大 250p
调 (Cs) 最大 400p 最大 250p 最大 250p 最大 250p
电感器 1.4µH 0.58µH 0.24µH 0.08µH
匹配范围 R:3Ω - 20Ω j:±40 标准 (需要商定)
设计等级 电压: 最大 1kV, 电流: 最大 3A
输入接口 BNC-FEMALE
输出接口 N-FEMALE / 铜棒 (可交换)
尺寸 W100xH130xD325(mm)
重量 (kg) 2.4kg (不包括连接支架)