■可变频率的射频功率发生器
T162-7844A(60kW)/T162-8144A(120kW) (对于脉冲输出) |
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该脉冲射频功率发生器是为激发离子源等离子体而开发的大输出R射频功率发生器，由振荡器，输出控制，功率放大，功率合成，PLC控制等组成。
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| 【T162-7844A 60kW】 |
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T162-7844A的振荡器单元使用DDS, 频率设置和读取可以通过触摸屏和PLC在外部。
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此外，三个预设频率(F1, F2, F3)可单独设置, 可以连续相进行改变f1→f2→f3脉冲中的频率。 可以从PLC进行设置和读取f1到f2的更改时间(扫描时间), 从f2到f3的更改时间以及f2的保持时间。
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T输出控制单元检测来自振荡单元的射频信号的开/关和功率合成单元中内置的定向耦合器的检测信号, 并将其作渐进波功率和反射波功率显示在触摸面板上。此外, 使用渐进波检测信号在用于振幅稳定化的脉冲中执行反馈控制。
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功率放大单元将一个宽带放大器基板 输出约600W的CW（连续波）组合成16个针对脉冲而修改的放大器基板, 并将其放大到一个输出功率约8kW的放大器单元中, 该放大器单元被容纳在一个组。 此外, 将FET的漏极电压设置为140V, 并且以比普通FET放大器的漏极电压的48V高几乎3倍的电压来使用, 并且漏极电流被抑制到大约1/3。 因此, 减小了漏极电源线中的电压降, 并且输出了具有较少下垂的良好脉冲波形。
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功率合成器合成8个8 kW放大器单元, 并输出60 kW高频功率。功率合成器中内置有定向耦合器，用于检测渐进波功率和反射波功率，检测到的信号也用于输出功率的反馈控制。
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PLC控制单元监视每个放大器单元的状态, 设置并读取射频开/关和输出频率, 读取从外部输入的GATE脉冲的重复频率和脉冲宽度, 并监视脉冲宽度和占空比。此外, 按照驾驶员EPICS创建PLC的梯形图程序, 具有与所述主控制系统和以太网通信功能, 并且可以容易地并入到主机系统。
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内置机架使用具有良好导电性的铝材料来改善接地特性和屏蔽特性，并防止噪进入环境噪较大的区域。
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| 【T162-8144A 120kW】 |
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通过将上述T162-7844A，一个（T146-7844B），从T162-7844A卸下的振荡器和PLC控制部件，以及用于与T041-8144A连接的同轴管组合在一起，以更改PLC程序。达到120kW的输出。
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| 频率范围 |
1.8MHz - 2.2MHz |
| 频率分辨 |
1kHz |
| 输出功率 |
60kW/ 超过 120kW (P1dB) (在 1.8MHz - 2.5MHz) |
| 最大脉冲宽度 |
1.3ms (可以延长到2ms) |
| 最大脉冲宽度监控 |
以0.1ms为步长在 0.1ms - 2ms 范围内设置 |
| 最大重复 |
50Hz |
| 最大占空比 |
10% |
| 最大占空比监控 |
5% - 10%以0.1%分辨的监控 |
| 最大允许反射功率 |
允许反射功率为10kW/20kW
然而, 许用全反射于从所述脉冲的上升和下降50µs。 |
| 负荷不匹配时的动作 |
如果反射功率为10kW/20kW或更高, 则停止脉冲输出。
约1秒, 自复位输出再之后, 重复动作, 直到问题解决。 |
| 脉冲响应 |
上升: 1µs之内(10%→90%)
下降: 1µs之内(90%→10%) |
| 谐波失真 |
小于 -30dB (额定输出, 50Ω负荷时) |
| 射频输出接口 |
WX-77D coaxial tube |
| 射频输出监测 |
-60dB±0.5dB 渐进波和反射波 (在 2MHz±0.2MHz) |
| 射频输出监测接口 |
BNC-FEMALE |
| 外部射频输入接口 |
BNC-FEMALE |
| 外部射频输入水平 |
小于 0dBm |
| 冷却 |
水冷 (部分强制通风) |
| 电源 |
AC200V 3φ 50Hz/60Hz Under 30kVA(60kW) /30kVA 2系统(120kW) |
| 动作环境温度范围 |
0℃ - +40℃ |
| 外形 |
19英寸JIS机架 (2连接/4连接) |
| 尺寸 |
1,140/2,280(W)x2,300(H)x900(D) (mm) |
