■高周波電源　Sシリーズ　13.56MHz　（ＩＳＭ帯）
高周波電源の用途は、誘電加熱、マイクロ波加熱、高周波プラズマ、超音波による洗浄、金属やプラスチックの溶接・加工、化学物質の分析、医療の温熱治療、加速器における励振器など、産業界の各分野で、基本的に必須の装置です。
サムウエイの高周波電源は、高周波技術を生かし、高周波電源の基本機能である周波数安定度、出力安定度に優れ、また想定される負荷状態で破損することがないよう信頼性を高めた設計を行っておりますので、メンテナンスフリーならびに高信頼性をお約束いたします。
サムウエイの高周波電源「Ｓシリーズ」の出力周波数は、13.56MHzで出力電力も各種のものを取り揃えております。
また、特にＥ級動作による「高効率」、「小型」、「低価格」を追求して設計・開発しました。
形状等につきましては仕様内容により、ご相談に応じます。

■特徴
オールソリッドステート
13.56MHz
500W～15kW
CW運転
高効率(インバータ方式)
高安定(水晶発振)
小型・軽量
低価格
水冷式(一部強制空冷式)
※整合器はオプション
▲T161-6513S

□電源仕様例
出力周波数 13.56MHz
周波数安定度 ±0.05%以内
発振方式 水晶発振
出力安定度 ±1%以内
高調波歪 -25dB以下
出力ｲﾝﾋﾟｰﾀﾞﾝｽ 50Ω
ﾓﾆﾀ出力 Pfﾓﾆﾀ (0～出力電力/0～+10V)
Prﾓﾆﾀ (0～反射電力/0～+10V)
保護機能 反射異常保護(10%以下)
過電圧、過電流保護
冷却系異常保護
外部ｲﾝﾀｰﾛｯｸ
出力ｺﾈｸﾀ 要相談
電源電圧 AC187～230V 3相 50Hz/60Hz
冷却方式 水冷(一部空冷)
絶縁抵抗 50MΩ以上 (DC500V)
絶縁耐圧 50Hz/60HzにてAC1500V (1分間)
周囲温度 0℃～40℃ (ただし結露なきこと)

□Sシリーズ型式一覧
型式番号 出力電力 外形寸法(mm)
T161-5713S 500W 480(W)×99(H)×450(D)
T161-6013S 1kW
T161-6513S 3kW 480(W)×149(H)×550(D)
T161-6713S 5kW 480(W)×299(H)×550(D)
T161-7013S 10kW 480(W)×600(H)×550(D)
T161-7213S 15kW 480(W)×750(H)×550(D)

□冷却系仕様例
冷却水水温 15℃～27℃ (ただし結露なきこと)
冷却水水量(毎分) 500W：3ℓ，1kW：4ℓ，3kW：6ℓ
5kW：7.6ℓ，10kW：7.6ℓ×2系統
冷却水水圧 6kg/c㎡以内
冷却水水口継手 500W・1kW：1/8ｲﾝﾁPTﾈｼﾞ
3kW以上：1/4ｲﾝﾁPTﾈｼﾞ